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| Prozessierung von Fotolacken |
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Produktspezifisches
Themen zu bestimmten fotoempfindlichen Lacken oder Polymeren
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Lagerung und Handhabung von Fotolacken
Lagerbedingungen, Handhabung und Alterungserscheinungen von Fotolack und Hilfsstoffen
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Substratreinigung
Verfahren und Medien zur Substratreinigung
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Haftvermittlung
Verbesserung der Haftung von Fotolack oder anderen Schichten zum Substrat
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Belackung
Aufschleudern, Sprühbelackung, Walzenbeschichtung und Tauchbeschichtung von Photolack
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Softbake (Prebake)
Trocknung der Lackschicht nach dem Beschichten
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Rehydrierung von Fotolack
Wartezeit zwischen Softbake und Belichtung zur Wasseraufnahme der Fotolackschicht
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Belichtung
Belichten von Fotolack
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Post Exposure Bake
Backen von Photolack nach der Belichtung vor der Entwicklung
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Entwicklung
Entwicklung der belichteten Fotolackschicht
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Hardbake
Backen der entwickelten Fotolackschicht
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Keine Beiträge |
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Entfernen von Fotolack
Strippen / Removal von Fotolack nach der Prozessierung
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Do 01 Jan, 1970 00:00  |
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Übergreifendes
Fragestellungen, welche sich keinem bestimmten Prozessschritt zuordnen lassen
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Fr 25 Jun, 2010 13:56 Robin  |
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