Lackabrisse am Waferrand

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Stefan
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Lackabrisse am Waferrand

Beitrag von Stefan » 22. Jun 2017, 13:28

Hallo,

hier einer unserer 200 mm Wafer mit Lackabrissen am Rand. Das Problem tritt eher selten und nicht reproduzierbar auf.
Folgendes wurde schon ergebnislos versucht:
- Erhöhung der Lackmenge
- Anpassen der Schleuderrampe und Drehzahl

Gruß
Stefan

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