LithoTalk

[Robin]

Hallo,

wir verwenden einen 3,5µm dicken iline-Resist. Leider zeigt dieser aus bisher ungeklärter Ursache an den Shot-Grenzen die Tendenz zu delaminieren bzw sich an den Strukturgrenzen anzuheben. Es sind nur sehr große Strukturen im Ritzgraben betroffen >>10µm. Ebenfalls zeigen sich diese Lackanhebungen im Guardring um den Die, jedoch nur die Seiten die zum Ritzgraben zwischen den Shots zeigen. Innerhalb des Shot gibt es keine Auffälligkeiten.
Variationen der Dosis, Fokus und PEB zeigten keinen signifikanten Einfluß.
Hinzu kommt, dass dieser Effekt nicht regelmäßig vorkommt. Allerdings kann er auf bereits betroffenen und nachgearbeiteten Wafern relativ gut reproduziert werden.

Für Ideen bin ich jederzeit offen.

Besten Dank im voraus.

Robin