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LithoTalk Freies Forum zur Lithografie und Mikrostrukturierung - KEINE Anmeldung/Registrierung zum Verfassen von Beitragen notwendig!
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Gast
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Verfasst am: Di 20 Jul, 2010 08:10 Titel: AZ40Xt |
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Hallo Zusammen,
hat jemand bereits Erfahrungen mit dem AZ40XT gemacht? Ich habe vor Kurzem eine Flasche davon zum Testen erhalten und nun das Problem dass auf 4" Si Substraten Lackstege ihre Haftung verlieren. Die Dicke beträgt 35µm. Selbst relativ breite Stege mit mehr als 10µm schwimmen teilweise weg. Ich habe die Substrate gründlich ausgebacken und vor dem Belacken mit HMDS beschichatet. Irgendwelche Ideen?
Vielen Dank.
lg |
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Gast
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Verfasst am: Mi 21 Jul, 2010 13:21 Titel: |
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| Das Problem hat sich erledigt. Zu schnelles abkühlen nach den Backschritten war anscheinend die Ursache. |
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