Spuren im Lack

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Stefan
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Spuren im Lack

Beitrag von Stefan » 22. Jun 2017, 13:25

Hallo zusammen,

hier ein Foto von einem unserer 200 mm Wafer. Hier sieht man wunderbar Schleuderspuren auf dem Wafer. Wir wissen nicht woher die Spuren kommen.
Der Wafer stammt aus der Mitte der Charge, das heißt es sind davor und danach fehlerfreie Wafer gelaufen.
Unsere Vermutung geht am ehesten Richtung Blasenbildung, aber wir sind hier noch nicht weiter gekommen.

Gruß

Stefan

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